Gases electrónicos C4F6 para los dispositivos eléctricos de Digitaces/Crystal Displays líquido

Gas C4F6 usado en dispositivos y pantallas de cristal líquido eléctricos digitales

Descripción:

En la molécula C4F6 la C: La relación F es bastante alta controlar la cantidad de polímero en la superficie de la cámara y la superficie de la oblea con respecto a radicales de la aguafuerte de F. Más importante es, que la característica intrínseca permite alta selectividad a los substratos o la foto resista y e.g. C4F8 comparado ventanas de proceso más anchas (Octafluorobutane). Este comportamiento es particularmente beneficioso dirigir la necesidad del submarino los requisitos de 0,25 m.

Al usar el argón como la selectividad del nitruro del gas portador puede dar lugar a una función de disminución. Xenón pues el otro gas portador posible tiene una selectividad creciente. Por lo tanto las mezclas de Ar/Xe son un buen compromiso.

Mercados y usos

INFORMACIÓN TOXICOLÓGICA

Usos:

1. C4F6 se sugiere para el uso en el plasma, haz de ion o farfulla la aguafuerte en la fabricación de los dispositivos de semiconductor.

2. Particularmente los resultados excepcionales se han observado en la aguafuerte dieléctrica del plasma con Xe y AR como el gas portador y dilutants. En plasma el dieléctrico que la graba al agua fuerte es importante controlar las químicas del plasma para equilibrar especie de la aguafuerte y de la deposición.