Hidrocaburo halogenado 116 de CAS 76-16-4

CAS 76164 gases electrónicos del hidrocaburo halogenado C2F6 del fluocarbono 116 con el cilindro para Etchant en la fabricación del semiconductor

Descripción:

Hexafluoroethane se utiliza como etchant versátil en la fabricación del semiconductor. Puede ser utilizado para la aguafuerte selectiva de los siliciuros y de los óxidos del metal contra sus substratos del metal y también para grabar al agua fuerte del dióxido de silicio sobre el silicio. El aluminio primario y las industrias fabriles del semiconductor son los emisores principales del hexafluoroethane.

Hexafluoroethane está relativamente inerte. La mezcla es inflamable y no tóxica, aunque la asfixia puede ocurrir debido a la dislocación del oxígeno. Bajo la exposición prolongada a encender o calor intenso los envases pueden romper violentamente y cohete.

Hexafluoroethane está químicamente inerte en muchas situaciones, pero puede reaccionar violentamente con los reductores fuertes tales como los metales muy activos y los metales activos. Puede reaccionar con oxidante fuertes u oxidante más débiles bajo extremos de la temperatura.

Los vapores pueden causar vértigos o la asfixia sin el cuidado. Los vapores del gas licuado son inicialmente más pesados que el aire y la extensión a lo largo de la tierra. El contacto con el gas o el gas licuado puede causar quemaduras, lesión severa y/o la congelación. El fuego puede producir los gases de irritación, corrosivos y/o tóxicos.

Algunos pueden quemar solamente ningunos encender fácilmente. Los envases pueden estallar cuando están calentados. Los cilindros rotos pueden alcanzar gran altura rápida y súbitamente.

Especificaciones:

1. Propiedades físicas

2. datos técnicos típicos

Usos: