CAS No.:: | 685-63-2 | Otros nombres:: | 1,1,2,3,4,4-hexafluorbuta-1,3-dieen |
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Clase del peligro: | 2.3 | Lugar del origen:: | Hubei |
Pureza:: | 99,95% | Uso:: | plasma Fluocarbono-basada que graba al agua fuerte el |
Paquete:: | terraplén del cilindro del cliente | Volumen de los cilindros:: | 50L |
Alta luz: | gas electrico,pureza más los gases de la especialidad |
Pureza elevada C4F6 el gas99.995%, uso en la aguafuerte Fluocarbono-basada del plasma
Descripción:
Gas el grabar al agua fuerte seco HFB, C4F6 que ha desarrollado en Rusia. C4F6 permite la aguafuerte seca en una línea anchura de tan estrecho como 90 nanómetro o menos. Es por lo tanto imprescindible para el sistema de proceso LSIs y los dispositivos de memoria de alta velocidad, de gran capacidad que se utilizan cada vez más en dispositivos y pantallas de cristal líquido eléctricos digitales.
Los gases del fluocarbono son ampliamente utilizados para procesar el silicio de revestimiento de óxido. Comparado con el octafluorocyclobutane (C4F8) usado actualmente para procesar en la línea anchura de 130 nanómetro, C4F6 tiene las ventajas siguientes:
relación de aspecto 1.High, dando por resultado los surcos estrechos y profundos (convenientes para procesar en la línea anchura muy estrecha)
selectividad 2.High (asegura la aguafuerte del silicio de revestimiento de óxido solamente; no afecta a la fotoprotección, al substrato de silicio o a la película del nitruro)
FUEGO LAS MEDIDAS DE LUCHA CONTRA
PUNTO DE INFLAMACIÓN | NINGUNOS DATOS DISPONIBLES. |
MEDIOS DE EXTINCIÓN | CONVENIENTE: RIEGUE EL ESPRAY, SEQUE LA ESPUMA, DIÓXIDO DE CARBONO. |
LUCHA CONTRA EL FUEGO | EQUIPO PROTECTOR: LLEVE EL APARATO RESPIRATORIO AUTÓNOMO Y LA ROPA PROTECTORA PARA PREVENIR EL CONTACTO CON LA PIEL Y LOS OJOS. PELIGROS ESPECÍFICOS: EMITE HUMOS TÓXICOS BAJO CONDICIONES DEL FUEGO. LOS CILINDROS PUEDEN ROMPER BAJO CONDICIONES DEL FUEGO. REFRESQUE TODOS LOS ENVASES AFECTADOS CON INUNDAR CANTIDADES DE AGUA. |
MEDIDAS DE PRIMEROS AUXILIOS
EXPOSICIÓN DE INHALACIÓN | SI ESTÁ INHALADO, QUITE EXPUESTO AL AIRE FRESCO. SI LA RESPIRACIÓN ES DIFÍCIL, LLAME A UN MÉDICO INMEDIATAMENTE. |
EXPOSICIÓN CUTÁNEA | EN CASO DE LA EXPOSICIÓN, LAVE INMEDIATAMENTE LA PIEL CON EL JABÓN Y LAS CANTIDADES COPIOSAS DE AGUA. LLAME A UN MÉDICO INMEDIATAMENTE. |
EXPOSICIÓN DEL OJO | EN CASO DE CONTACTO CON LOS OJOS, RUBOR CON CANTIDADES COPIOSAS DE AGUA POR LO MENOS 15 MINUTOS. ASEGURE LIMPIAR CON UN CHORRO DE AGUA ADECUADO SEPARANDO LOS PÁRPADOS CON LOS FINGERES. LLAME A UN MÉDICO INMEDIATAMENTE. |
EXPOSICIÓN ORAL | NO UNA RUTA NORMAL DE LA ENTRADA. SI ESTÁ TRAGADO, ELIMINE LA BOCA CON AGUA CON TAL QUE LA PERSONA SEA CONSCIENTE. LLAME A UN MÉDICO. |
Usos:
1.C4F6 puede utilizar como gases filmógenos organometálicos,
2. El gas de HFB (C4F6) puede utilizar como agentes de limpieza, humo que procesa a los depuradores