CAS No.:: | 685-63-2 | Otros nombres:: | 1,1,2,3,4,4-hexafluorbuta-1,3-dieen |
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Clase del peligro: | 2.3 | Lugar del origen:: | Hubei |
Pureza:: | 99,95% | Uso:: | plasma Fluocarbono-basada que graba al agua fuerte el |
Paquete:: | cilindros de acero inconsútiles | Volumen de los cilindros:: | 926L |
Alta luz: | gas electrico,pureza más los gases de la especialidad |
C4F6 gas, Hexafluoro-1,3-butadiene para el laboratorio químico de la investigación
Descripción:
El butadine del ‐ Hexafluoro1,3 es un gas comprimido licuado tóxico, descolorido, inodoro, inflamable.
El gas C4F6 como gas etchant para una alta aguafuerte del agujero del contacto de la relación de aspecto puede ser un bueno
alternativa a los gases de PFC.
gas el grabar al agua fuerte seco de hexafluoro-1,3-butadiene (C4F6) que ha desarrollado en Rusia. C4F6 permite la aguafuerte seca en una línea anchura de tan estrecho como 90 nanómetro o menos. Es por lo tanto imprescindible para el sistema de proceso LSIs y los dispositivos de memoria de alta velocidad, de gran capacidad que se utilizan cada vez más en dispositivos y pantallas de cristal líquido eléctricos digitales.
Los gases del fluocarbono son ampliamente utilizados para procesar el silicio de revestimiento de óxido. Comparado con el octafluorocyclobutane (C4F8) usado actualmente para procesar en la línea anchura de 130 nanómetro, C4F6 tiene las ventajas siguientes:
carga ambiental baja 1.Very como se descompone en menos de dos días en la atmósfera (comparada con 3.200 años para C4F8)
2.Therefore, útil como alternativa a los perfluorocarbons con alto potencial del calentamiento del planeta.
relación de aspecto 3.High, dando por resultado los surcos estrechos y profundos (convenientes para procesar en la línea anchura muy estrecha).
selectividad 4.High (asegura la aguafuerte del silicio de revestimiento de óxido solamente; no afecta a la fotoprotección, al substrato de silicio o a la película del nitruro)
PROPIEDADES FÍSICAS Y QUÍMICAS
ASPECTO Y OLOR | GAS @ 25 °C Y 760 mmHg. |
PUNTO DE FUSIÓN: | °C -132,1 |
PUNTO DE EBULLICIÓN | °C 6 -7 @ 760 mmHg |
PRESIÓN DE VAPOR: | 25 °C del psia @ 20 |
DENSIDAD: | 1,553 g/ml @ del °C -20 |
Índice de refracción: | °C 1,378 @ -20 |
PAQUETE ESTÁNDAR INFORMATION-ASIA Y NORTEAMÉRICA
Tamaño del envase | acero 44L | acero 8L |
Pesos del terraplén (kilogramos) | 45 | 5 |
Válvula ConnecƟon | PneumaƟc DISS 724 | DISS manual 724 |
Dimensiones del cilindro (adentro) | 9x51 | 7x19 |
Usos:
1. Puede utilizar en la aguafuerte flúor-basada.
2. C4F6 puede utilizar como gases filmógenos organometálicos.