Información detallada

nombre de producto:	Trifluorudo del nitrógeno	DENSIDAD:	3,003 kg/m3 (1 atmósfera, °C) 15
Olor:	Mohoso	Aspecto::	Gas descolorido
Uso:	Aguafuerte del plasma de las obleas de silicio	Einecs no.:	232-007-1
Punto de fusión:	°C −207.15	Punto de ebullición:	°C −129.06
Alta luz:	gas de electrón , pureza más los gases de la especialidad

Descripción de producto

Trifluorudo NF3, 99.99~99.999% del nitrógeno, usados en la aguafuerte del plasma de las obleas de silicio

Descripción:

El trifluorudo del nitrógeno (NF3) es un nuevo gas especial para la industria electrónica como gas de limpieza para la limpieza y la aguafuerte del plasma, ampliamente utilizado en TFT LCD, el semiconductor y la industria solar etc. del photoelectricity, teniendo ventajas de ninguna velocidad de limpieza y fácil remaing, alta descomponerse.

De acuerdo con maduro la electrólisis y la tecnología de producción de los fluoruros, con el R&D continuo por vario año, la compañía ha alcanzado varios tecnología del produion avanzada en el mundo. Desde 2009 LRICI ha sido estable un proveedor con la alta reputación del gas de los productos NF3 del electrónico-grado a los clientes nacionales y a los clientes de Japón, de Taiwán, de la Corea del Sur etc. La compañía ahora tiene capacidad de 1000 t/a y puede pinchar espec. de 99,999%, producción del ecu aún más NF3 continuamente y estable.

Especificaciones:

1. Propiedades físicas

Nombre de producto	Trifluorudo del nitrógeno
Fórmula molecular	NF3
La O.N.U no.	La O.N.U 2451
CAS No.	7783-54-2
EINECS no.	232-007-1

2. datos técnicos típicos

Impurezas	El NF3≥99.995% el Vol.%	El NF3≥99.99% el Vol.%	El NF3≥99.98% el Vol.%	El NF3≥99.9% el Vol.%
CF4	≤20 Vol.ppm	≤40 Vol.ppm	≤100 Vol.ppm	≤500 Vol.ppm
N2	≤5 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤50 Vol.ppm
O2+Ar	≤3 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤50 Vol.ppm
CO2	≤1 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm
H2O	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm
HF	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm	≤1 Vol.ppm
SF6	≤1 Vol.ppm	≤2 Vol.ppm	≤2 Vol.ppm	≤25 Vol.ppm
N2O	≤1 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm
CO	≤0.5 Vol.ppm	≤5 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm	≤10 Vol.ppm

3. Paquete

Cilindro de acero inconsútil de la tonelada de los cilindros 3AA/GB5099 del PUNTO

Información de los cilindros	Cilindro individual (47L)	Paquete	Cilindro de Y	Tubo del ISO
Material	Acero del manganeso (316L)		Acero Cr-MES
Tipo de conexión de la válvula	CGA 330 CGS/DISS 640		DISS 640 etc
Tipo	DOT-3AA GB5099	47L16/47L25		los 20ft: los 40ft
Presión	9-13Mpa
Peso de relleno	20/22.7kg		195/200

Usos:

El trifluorudo del nitrógeno (NF3) ha sido ampliamente utilizado en industria electrónica, semiconductor y la industria solar etc. de la foto-electricidad que es una buena aguafuerte y un gas de limpieza con ventajas de ningún permanecer, alta velocidad de limpieza y fácil descomponerse.

etiqueta:

Lugar de origen:	China
Nombre de la marca:	Newradar Gas
Certificación:	ISO/DOT/GB
Número de modelo:	N/A

Cantidad de orden mínima:	PC 1
Precio:	negotiation
Detalles de empaquetado:	Embalado en el cilindro 10L-500L o embalado según las demandas.
Tiempo de entrega:	10-20 días laborables recibieron después su pago
Condiciones de pago:	L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Capacidad de la fuente:	PCS 1000 por mes

Gases mohosos de la pureza ultra elevada del olor para la industria electrónica, punto de fusión del °C −207.15

gas de electrón

pureza más los gases de la especialidad

Gas nitrógeno,

Gas eléctrico,

cilindro de gas del nitrógeno

Hidrocaburo halogenado 116 de CAS 76-16-4

Gases electrónicos del hexafluorudo del azufre

Gases electrónicos elevados del silano SiH4 de la pureza

Gas de la calibración del sulfuro de hidrógeno de H2S

Gas del laser del excímero de Ar/F2/He/Ne mezclado para la lente produciendo los lasers del excímero del laser del xecl

Gas de electrón del aire de la balanza del gas 100 PPM de la calibración del isobutileno

Fluoruro NF3, del nitrógeno gas nf3

Medio dieléctrico gaseoso de los gases de la industria del azufre del gas electrónico del hexafluorudo