Lugar de origen: | China |
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Nombre de la marca: | Newradar Gas |
Certificación: | ISO/DOT/GB |
Número de modelo: | N/A |
Cantidad de orden mínima: | PC 1 |
Precio: | negotiation |
Detalles de empaquetado: | Embalado en el cilindro 10L-500L o embalado según las demandas. |
Tiempo de entrega: | 10-20 días laborables recibieron después su pago |
Condiciones de pago: | L/C, T/T, Western Union, MoneyGram |
Capacidad de la fuente: | PCS 1000 por mes |
nombre de producto: | Trifluorudo del nitrógeno | DENSIDAD: | 3,003 kg/m3 (1 atmósfera, °C) 15 |
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Olor: | Mohoso | Aspecto: | Gas descolorido |
CAS No.: | 7783-54-2 | Einecs no.: | 232-007-1 |
Punto de fusión: | °C −207.15 | Punto de ebullición: | °C −129.06 |
Alta luz: | gas electrico,pureza más los gases de la especialidad |
NF3, gas líquido, trifluorudo del nitrógeno, 99.99~99.999%, usados en industria electrónica
Descripción:
El trifluorudo del nitrógeno (NF3) es un gas descolorido y estable bajo condiciones ambiente. El gas es incombustible pero puede apoyar la combustión. Cuando la temperatura está sobre 350℃, el gas se descompondrá lentamente para producir el flúor de la oxidación fuerte y por lo tanto, es un oxidante fuerte en la temperatura alta.
Los átomos resultantes del flúor son los agentes de limpieza activos que atacan la polisilicona, el nitruro de silicio y el óxido de silicio. El trifluorudo del nitrógeno se puede utilizar también con siliciuro del tungsteno, y el tungsteno producido por el CVD.
NF3 se ha considerado como un substituto ambientalmente preferible para el hexafluorudo del azufre o perfluorocarbons tales como hexafluoroethane. La utilización de proceso de las sustancias químicas aplicadas en procesos del plasma está típicamente debajo del 20%. Por lo tanto algo del PFCs y también algo siempre del escape NF3 en la atmósfera. Los sistemas modernos de la disminución del gas pueden disminuir tales emisiones.
Especificaciones:
1. Propiedades físicas
Nombre de producto | Trifluorudo del nitrógeno |
Fórmula molecular | NF3 |
La O.N.U no. | La O.N.U 2451 |
CAS No. | 7783-54-2 |
EINECS no. | 232-007-1 |
2. datos técnicos típicos
Artículo | Unidad | Ponga en un índice | |
NF3 | ≥ del Vol.% | 99,995 | 99,99 |
CF4 | ≤ del Vol.% | ≤20 | ≤40 |
N2 | ≤ del Vol.% | ≤5 | ≤10 |
O2+Ar | ≤ del Vol.% | ≤3 | ≤5 |
CO | ≤ del Vol.% | ≤1 | ≤5 |
CO2 | ≤ del Vol.% | ≤1 | ≤5 |
N2O | ≤ del Vol.% | ≤1 | ≤5 |
SF6 | ≤ del Vol.% | ≤2 | ≤5 |
H2O | ≤ del Vol.% | ≤3 | ≤1 |
3. Paquete
Cilindro de acero inconsútil de la tonelada de los cilindros 3AA/GB5099 del PUNTO
Información de los cilindros | Cilindro individual (47L) | Paquete | Cilindro de Y | Tubo del ISO |
Material | Acero del manganeso (316L) | Acero Cr-MES | ||
Tipo de conexión de la válvula | CGA 330 CGS/DISS 640 | DISS 640 etc | ||
Tipo | DOT-3AA GB5099 | 47L*16/47L*25 | los 20ft: los 40ft | |
Presión | 9-13Mpa | |||
Peso de relleno | 20/22.7kg | 195/200 |
Usos:
El trifluorudo del nitrógeno (NF3) ha sido ampliamente utilizado en industria electrónica, semiconductor y la industria solar etc. de la foto-electricidad que es una buena aguafuerte y un gas de limpieza con ventajas de ningún permanecer, alta velocidad de limpieza y fácil descomponerse.