Gas de la mezcla preparada de antemano para la mezcla de gases del laser ArF del excímero

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Información detallada

GAMA INFLAMABLE::	No aplicable	ASPECTO, OLOR Y ESTADO:	Gas descolorido con olor acre.
Gas de relleno::	Mezclas de gases del argón, del neón y del flúor	Tipo de la válvula::	CGA679
Mercado de la válvula:	Dinar 8

Descripción de producto

Gas de la mezcla preparada de antemano para la mezcla de gases del laser ArF del excímero

Descripción de producto

NOMBRE DE PRODUCTO: Menos el de 1% F2 EN ARGÓN, HELIO, CRIPTÓN, NEÓN y/o XENÓN

USO DEL PRODUCTO: En lasers del excímero

COMPOSICIÓN e INFORMACIÓN SOBRE LOS INGREDIENTES

	F2
Peso molecular	38,00
Densidad del gas @ 21,1°C (70°F)	0,098 lb/ft3 (1,57 kg/m3)
Punto de ebullición @ 1 atmósfera	-188,2^Oc (- 306,8^de)
Congelación/punto de Metling @ 1 atmósfera	-219,7^Oc (- 363,4^de)
Gravedad específica (aire = 1) @ 21.1°C	1,312
(70°F)
Solubilidad en el agua vol./vol. en 0°C (32°F)
y 1 atmósfera
Volumen específico @ 21,1°C (70°F	10,17 ft3/lb (0,635 m³/kg)
Presión crítica	756,4 psia (5215 ABS del kPa)
Umbral de olor	0.097-0.19 PPM

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