Información detallada

Cas No.:	7439-90-9	La O.N.U no:	1982
Pureza::	99,999%	Paquete::	cilindros de acero inconsútiles
Otros nombres:	Mezcla del tetrafluoruro del carbono del oxígeno	Aspecto::	Gas descolorido
Volumen de los cilindros::	10L, 25L, 40L o 50L	Estándar del grado:	Grado del grado del electrón
tóxico:	No tóxico	Uso:	proceso de la litografía 248nm y mezclado con el halógeno usando los gases mezclados
Resaltar:	gases de la especialidad de los productos del aire , gases de la especialidad del liquide del aire

Descripción de producto

Oxígeno de las mezclas de gases el 20% de la especialidad con el O2 del tetrafluoruro CF4 Mixted del carbono para la polisilicona del grabado de pistas, y dióxido de silicio

Descripción:

Mezclas de gases de la especialidad

El tetrafluoruro del carbono es una fuente de radicales libres del fluoruro del flúor o del carbono usados en una variedad de etchprocesses de la oblea. El tetrafluoruro del carbono se utiliza con oxígeno para grabar al agua fuerte la polisilicona, el dióxido de silicio, y el nitruro de silicio.

El tetrafluoruro del carbono está relativamente inerte en condiciones normales y es un asfixiador. Bajo condiciones del plasma del RF, los radicales libres del flúor están típicamente bajo la forma de CF3

o CF2. Resultados de un CarbonTetrafluoride de una pureza más elevada en el control superior del proceso, que da lugar a un mejor control dimensional y de perfil.

Otros hidrocaburos halogenados, así como la presencia de aire o de oxígeno, son perjudiciales al control del grabado de pistas anisotrópico.

Especificaciones:

1. Propiedades físicas

Major Components
COMPONENTES	CONCENTRACIÓN	GAMA
O2	20%	19.9-20.1%
CF4	Balanza

2. datos técnicos típicos (COA)

Impurezas máximas
COMPONENTES	CONCENTRACIÓN (PPM)
Dióxido de carbono (CO2)	<1>
Monóxido de carbono (CO)	<1>
Humedad (H2O)	<0>
Nitrógeno (N2)	<10>
Oxígeno (O2)	<5>
THC (como metano) (CH4)	<0>
Otros hidrocaburos halogenados	<1>
Hexafluorudo del azufre	<1>

Cilindro Specifications*			Contenido	Presión
Cilindro	Opciones del mercado de la válvula		Libras	PSIG	BARRA
2	CGA 580	DISS 716	70	2000	139

Mezclas de gases descoloridas de la especialidad 0

Usos:

Tetrafluoromethane se utiliza a veces como refrigerante de la baja temperatura.

Se utiliza en el microfabrication de la electrónica solamente o conjuntamente con el oxígeno como plasma etchant para el silicio, el dióxido de silicio, y el nitruro de silicio.

También tiene aplicaciones en detectores de neutrón

etiqueta:

Lugar de origen:	China
Nombre de la marca:	Newradar Gas
Certificación:	ISO/DOT/GB
Número de modelo:	N/A

Cantidad de orden mínima:	1000 litros
Precio:	Negociable
Detalles de empaquetado:	10kg, 40kg o 50kg llenos en el cilindro de gas calificado o llenos según las demandas
Tiempo de entrega:	15-25 días laborables recibieron después su pago
Condiciones de pago:	L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Capacidad de la fuente:	metro cúbico 3,00 por mes

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