C4F6 gas electrónico descolorido Hexafluoro-1,3-Butadiene del cilindro de la pureza de los gases 44L 99,95%

C4F6 que graba al agua fuerte el gas para el proceso del semiconductor

Descripción:

C4F6 (Hexafluoro-1,3-butadiene) se utiliza para los usos dieléctricos del grabado de pistas. Hexafluoro-1,3-butadiene es un gas comprimido licuado tóxico, descolorido, inodoro, inflamable.

Paquete: 44~49L cilindro, válvula de CGA350 SS

Contenido de relleno: 20kg/cyl

C4F6, es un gas respetuoso del medio ambiente, de alto rendimiento de la especialidad de la fabricación del semiconductor eso
proporciona altas tarifas del grabado de pistas, buen control de la relación de aspecto y alta selectividad a
fotoprotección en usos dieléctricos críticos del grabado de pistas.

El gas C4F6 mejora resultados dieléctricos del proceso del grabado de pistas en muchas áreas de proceso dominantes, incluyendo los usos damasquinos duales de cobre y los materiales dieléctricos bajos de K para 0,13 micrones y más allá de diseños de chips. Sifren 46 también proporciona ventajas ambientales en emisiones bajas del calentamiento del planeta y cero
potencial de la reducción del nivel de ozono.

PROPIEDADES FÍSICAS Y QUÍMICAS

PAQUETE ESTÁNDAR INFORMATION-ASIA Y NORTEAMÉRICA

Usos:

1. procesos de la aguafuerte del plasma para los dispositivos del micrón del Sub-cuarto.

2. plasmas alternativas del gas de Perfluorocarbon

3. Utilizado en los TFT-LCDs y photovoltaics.